Mahsulot tavsifi
Qisman kristallangan kremniy mikrositretiga asoslangankremniy nitridiLPCVD tomonidan tayyorlangan filmlar. O'sib borayotgan sharoit va jarayonga qarab, tarkibiy qismlar o'nlabdan yuzlab Nanometrlarga qarab. Stress test natijalari va translyatsiya elektron mikroskoplarini turli sharoitlarda kuzatish natijalariga ko'ra, krem filmlarining mikroektoni va plyonkalarning o'sishi, filmning keskin stressini kuchaytirdi, bu esa filmning keskin stressini kamaytirdi 40 mm × 40 mm. Ushbu tadqiqot natijalariga ko'ra, Sinx membranalarining aniq o'sishi bilan LPCVD tomonidan amalga oshirildi.
Mahsulot parametrlari
| Baho | N | Si | CA min | O min | C min | Al-min | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Mahsulotlar Hamkorlik Rasm
1.Kremniy nitridiYupqa plyonkalar (GUL {_}) Silean va Ammoniyaning kremniy va azot manbalari sifatida, silikka va azot manbalari, mos ravishda va yuqori toza azot sifatida tayyorlangan. Sinovning o'sishi kinikikasi _}} kinolari Ellipsometriya tomonidan o'rganilgan, grosmik spektroskop va X-Reyli rasmlar mikroskopiyasi va atom kuchlari mikroskopiyasi bilan ajralib turardi. Xuddi shu holatlar bilan bir xil sharoitda, _} x gohiyning o'sish sur'ati ishlov berish bosimi ko'payadi va ozuqa liniyasining ekin maydonining (r) ozuqa suv oqimi (R) filmning o'sish sur'atiga qarama-qarshi ta'sir ko'rsatadi. Reaktsiya harorati oshganda, cho'kma darajasi asta-sekin o'sib boradi, maksimal darajada 840 darajaga etadi va tezda pasayadi. R2 ishlatilganda, Si boy gila _ li yupqa plyonka (x1.33) olinadi. R4 dan foydalanilganda, Stochiometrik (Z≈1.33) bilan gino (zɛ1.33).
Issiq teglar: Silikonning yuqori darajadagi mahsuloti, Xitoy yuqori darajadagi kremniy nitrid ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilar, fabrikalar