Yuqori darajadagi material kremniy nitridi

Masofadan o'lchash sharoitlariga ko'ra kremniy kukuni Shs jarayonini yaratish uchun butunlay nitraydikremniy nitridiVa mahsulot yuqori azot tarkibiga ega va kislorod tarkibiga ega, ammo bu fazadir. Silikon Fee Shs Reaktsiya, Tegishli Si _4 urug 'qo'shilishi kerak; Shsning yonish to'lqini targ'ibot tezligi azot bosimining ko'payishi va reaktiv to'ldirish zichligining pasayishi bilan ko'payadi, ammo bu reaktiv kompozitsiya va namuna diametri hisoblanadi. Azizning siquvi kuchayishi va reaktivlarning tarkibi va zichlikning tarkibidan mustaqil bo'lgan namunaviy diametri harorati oshdi.

1.Kremniy nitridiFilmlar turli xil cho'kma sharoitida plazma kimyoviy bug '(PECTD) texnologiyasi (PRECTRD) texnologiyasi (Substrat harorati va RF quvvatining 20 ~ 180 daraja va squatrast harorati) va kremniy nitridi filmlarining xususiyatlari va suv o'tkazmaydigan metodlarning xususiyatlari ta'siri o'rganildi. Eksperimental natijalari shuni ko'rsatadiki, substrat harorati, zichligi, zitrid indeksi va Si / N mos keladi, shunda yog 'darajasi va H tarkib mos ravishda pasayadi. RF quvvatini, cho'kish darajasi, zichlik, zichlik indeksi va Si / N si / n mos keladi, shunda H tarkib mos ravishda pasayadi. Suv bug'chi imtihon eksperimenti shuni ko'rsatadiki, substrat harorati 50 daraja 50 darajaga kamaygan bo'lsa ham, depozitlangan silikon nitrid plyonkasi hali ham yaxshi suv o'tkazmaydigan ta'sirga ega. Eksperimental natijalar shuni ko'rsatadiki, past haroratli nitrid filmlari organik yorug'lik chiqaruvchi qurilmalarni (OLEDS) qadoqlash uchun samarali qo'llanilishi mumkin.

Issiq teglar: Yuqori darajadagi material kremniy nitridi, Xitoy yuqori darajadagi moddiy materiallar kremniy nitrid ishlab chiqaruvchilar, etkazib beruvchilar, fabrikalar